某芯片制造企业晶圆缺陷检测产线改造

项目背景： 某国内8英寸芯片制造企业面临晶圆良率提升压力，原有进口检测设备维护费用高昂且备件供应周期长，急需国产替代方案。

解决方案： 星空综合中国官方网站为客户提供了半导体缺陷检测S4系统，采用纳米级光学检测技术，支持8英寸晶圆全自动检测，可识别颗粒、划伤、图形缺陷等多种类型缺陷，检测速度达到150片/小时。

项目成果： 设备部署后晶圆检测覆盖率从75%提升至98%，成品良率提高3.2个百分点，年增产值超过2000万元。技术差距持续缩小，设备已通过客户6个月验证期，成为国内半导体检测设备国产化的标杆案例。