【新品】航天科技集团火箭院自研气体纯度分析仪：灵敏、精准、高效……

　　航天科技集团火箭院北京航天计量测试技术研究所自主研制的国产化气体纯度分析仪，实现了核心关键技术自主可控，且价格较进口产品降低10%至30%。

　　高纯气体在精密制造、半导体、航空航天等领域广泛应用，随着国家科技进步和高精尖技术领域的发展，对高纯气体纯度指标也提出更高的要求。

　　气体纯度分析仪主要用于纯度大于99.999%高纯气体中痕量杂质的检测，进而实现高纯气体的纯度分析。

　　项目负责人卜芳介绍：“我们自主研制的气体纯度分析仪从原理上能检测几乎所有的高纯气体，检测灵敏度可达到十亿分之一的级别，性能跟进口产品是同等水平，可完全实现进口产品的国产化替星空综合代。”

　　超高灵敏度脉冲放电氦离子化检测器，最低检出限达5nmol/mol，检测灵敏度高；

　　稳定的自适应脉冲高压放电和pA级微弱电流信号采集，检测稳定性小于4%，测量范围在5nmol/mol至1%mol/mol，测量精准；

　　多阀多柱分离系统，实现对高纯气体多种痕量杂质的一次性分析，检测重复性小于3%，检测效率高。

　　该气体纯度分析仪能够解决高纯气体中ppb至ppm级痕量杂质含量准确检测问题，满足精密制造、半导体制造、航天航空等领域高纯气体杂质含量准确定量需求，有效提升制造水平、产品质量和装备性能。

　　·ppb级：十亿分之一，意味着在某个物质或混合物的十亿单元体积中，有一单元体积是我们所关注的物质。

　　·ppm级：百万分之一，意味着在某个物质或混合物的一百万单元体积中，有一单元体积是我们所关注的物质。