英福康取得用于质谱泄漏检测的三级涡轮分子泵和增压泵装置专利

　　国家知识产权局信息显示，英福康有限责任公司取得一项名为“具有三级涡轮分子泵和增压泵的用于质谱泄漏检测的装置”的专利，授权公告号CN116601391B，申请日期为2021年9月。

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